真空压力由FLUORO福乐真空泵提供

我们的真空泵设计为在紧凑的机身中提供高真空压力。 产品阵容包括 FV-10、FV-30、FV-60 和 FV-XP 四种类型，活跃于半导体制造工厂、医疗设备应用和食品制造工艺等广泛市场。
通过将隔膜安装在封闭空间内，分两段降低压力，并联结构，因此实现了可以获得比 FV-10 更高的真空压力的机构。

HEPA 过滤器安装在进气和排气部分。 它也可以用于洁净室。 此外，可以从主体的透明窗口看到过滤器，因此您可以知道何时更换它。

处理范围从低于自身重量的物体到相当于硅晶片的 8 英寸。

管子有 Φ3×5、Φ4×6 两种尺寸。

随附的管子为 Φ3×5。