当光源发出的光波照射到被测膜层时,一部分光波会在膜层表面反射,另一部分则穿透膜层并在其与基底的界面上再次反射回来。这些反射光之间因路径差异形成干涉现象,
日本Otsuka大塚薄膜厚度检测仪通过探测器接收并分析反射/透射光波的相位差,即可准确计算出薄膜厚度。此方法适用于透明及不透明薄膜的测量。
日本Otsuka大塚薄膜厚度检测仪的测定步骤:
1.准备工作
-安装与通电:确认仪器已经正确安装并接通电源。
-预热仪器:开启仪器后,让其预热至稳定状态,以确保测量的准确性。
-选择校准标准:挑选与待测材料相似的校准块,且校准块的厚度应覆盖待测材料的厚度范围。
-设置校准模式:依据仪器说明书,选择合适的校准模式。
2.校准操作
-校准零点:将探头放置在无涂层的基底材料上,进行零点校准。
-校准多点:把探头依次放置在校准块的不同厚度位置,记录仪器的读数,并在每个校准点上停留足够时间,以获取稳定数值。
3.实际测量
-清洁样品表面:保证待测样品表面干净、光滑,无灰尘、污垢或附着物,粗糙的表面会影响探头与样品的接触,降低测量精度。
-定位测量点:避免在样品的边缘或转角处进行测量,尽量选择平整、具有代表性的区域作为测量点。若使用管状适配器连续测定平面,可使测量更稳定。
-执行测量:抓住与测定部接近的部分,迅速在与测定面成垂直的角度按下探头进行测量。每次测量要从探头的前端测定面开始离开10mm以上。
-记录结果:等待测量结果显示完成后,记录测量得到的薄膜厚度数值。根据需要,可重复上述步骤多次测量并取平均值,以提高测量结果的准确性。