日本FLOURO 福乐伯努利卡盘搬运晶圆晶体

产品简介：

日本FLOURO 福乐伯努利卡盘搬运晶圆晶体
活跃于半导体制造工厂、医疗设备应用和食品制造工艺等广泛市场

产品型号：BC-K2

更新时间：2025-03-29

厂商性质：经销商

访问量：48

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日本FLOURO 福乐伯努利卡盘搬运晶圆晶体

日本FLOURO 福乐伯努利卡盘搬运晶圆晶体

晶圆非接触转移伯努利卡盘 BC 系列的特点

主体可以从手柄的 20 度、45 度和 90 度三个使用角度中进行选择，用于平面放置的 BC-K 系列兼容 2 英寸到 12 英寸。
（使用角度为固定角度，不更换主机无法改变使用角度。
导向挡块具有柔和的锥度，以便晶圆边缘与点接触。
由防静电聚碳酸酯制成的导向环可以进行目视定位，并且可以检查吸入状态。
由于主体使用导电尼龙树脂，减轻了重量。
两面都有图案印刷，可以处理难以处理的薄至 50 μm 的晶圆。
我们还支持定制产品，例如与对象匹配的方形。

由于伯努利卡盘是在高压下使用的，因此出于安全原因，建议以与相同的方式将按钮朝下使用。（请参考左图。）

要使用伯努利卡盘，您需要一台压缩机和一个油箱为 9 升或更高的调节器。
（我们不出售它）

非接触式用于输送Bernoulli 卡盘

用于平面放置

材料
本体：导电 MC 尼龙
导环：防静电聚碳酸酯
附属品
导电管 6×4 （1.5m）
使用角度
20° / 45° / 90°

自适应晶圆尺寸	代号	气压（MPa）	重量（g）
2 英寸	BC-K2 型	0.1	50
3 英寸	BC-K3 系列	0.1	70
4 英寸	BC-K4 型	0.15	80
5 英寸	BC-K5 系列	0.15	100
6 英寸	BC-K6 型	0.15	120
8 英寸	BC-K8 系列	0.2	170

平面贴装时：300 微米或更小

材料
本体：导电 MC 尼龙
导环：防静电聚碳酸酯
附属品
导电管 6×4 （1.5m）
使用角度
20° / 45° / 90°

自适应晶圆尺寸	代号	气压（MPa）	重量（g）
6 英寸	BC-K6-300型	0.15	170
8 英寸	BC-K8-300型	0.2	220
12 英寸	BC-K12-300 系列	0.35	430

对于 protoss 载体：300 微米或更小

材料
本体：导电 MC 尼龙
导环：防静电聚碳酸酯
附属品
导电管 6×4 （1.5m）
使用角度
45° / 90°

自适应晶圆尺寸	代号	气压（MPa）	重量（g）
6 英寸	BC-P6-300	0.15	180
8 英寸	BC-P8-300	0.2	240
12 英寸	BC-P12-300	0.35	450

台式Bernoulli

这将是一个特定于客户的订单。
新开发的吸附部分由抗静电塑料制成，通过精密加工制造出吸附高的结构。
当气体从垫片表面的注射孔注入时，气体的粘度将工件向上拉，并产生伯努利效应引起的吸附力。利用这一点的革命性产品是台式伯努利系统。

低压空气通过垫表面一个具有仰角的小直径孔注入，当它靠近工件时，工件被伯努利效应拉起并吸附。由于它是非接触式的，因此可以在不损坏工件的情况下进行运输。（压力： 50 kPa，流量： 4.5 升）
作部分为笔式小气阀（采用C001），作轻柔，有笔触的感觉。

使用的材料

阀体：导电尼龙树脂

（体积阻力值：106 Ω）

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活跃于半导体制造工厂、医疗设备应用和食品制造工艺等广泛市场

晶圆非接触转移伯努利卡盘 BC 系列的特点

非接触式用于输送Bernoulli 卡盘

用于平面放置

平面贴装时：300 微米或更小

对于 protoss 载体：300 微米或更小

台式Bernoulli

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晶圆非接触转移伯努利卡盘 BC 系列的特点

非接触式用于输送Bernoulli 卡盘

用于平面放置

平面贴装时：300 微米或更小

对于 protoss 载体：300 微米或更小

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