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当前位置:首页产品中心检测、计量类日本Otsuka大塚OPTM-A3日本Otsuka大塚薄膜厚度检测仪 OPTM series

日本Otsuka大塚薄膜厚度检测仪 OPTM series
产品简介:

日本Otsuka大塚薄膜厚度检测仪 OPTM series
可携带至现场的手持式 可测量0.1μm单位
具有形状的样品也可非破坏的测量

产品型号:OPTM-A3

更新时间:2025-04-10

厂商性质:经销商

访 问 量 :51

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产品介绍

可携带至现场的手持式

日本Otsuka大塚薄膜厚度检测仪 OPTM series
● 可测量0.1μm单位

● 具有形状的样品也可非破坏的测量

● 不论基材材质、可测量其镀膜

日本Otsuka大塚薄膜厚度检测仪 OPTM series
与桌上型光学膜厚仪相比,Smart膜厚仪在“现场"以非破坏式直接量测样品,且可以量测特殊形状样品。
与接触式膜厚仪相比,Smart膜厚仪不仅不会破坏您的样品,也不会因用户不同而产生误差且远高于接触式膜厚的量测精度。
与涡电流/电磁式膜厚仪相比,Smart膜厚仪不需要制作检量线,且可以量测非金属基材并且得到绝对值!

非接触式载台

对于湿膜或半导体晶圆等不想接触的样品,可以通过自由设定探头位置进行非接触测量。

产品开发-量测试作品

1.携带到合作厂商等,直接在现场量测效率Up

2.试作阶段的检查方法商定效率Up



规格样式

量测原理

反射分光法(光干涉法)、非破坏性量测

膜厚量测范围

1~50μm(显示上限60μm)

重复精度

2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)

量测时间

1秒内

量测层数

1层

数据输出

附属操作屏幕显示或以USB输出Excel档案

量测Spot

Φ1mm以下

重量

约1.1kg


选配

笔型探头

能够测量狭窄区域或形状的样品。 探头端Φ6mm。



膜厚测量范围

1μm~50μm

测量重复性

0.01μm

测量时间

1秒以下




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